开端：投资界

投资界（ID：pedaily2012）11月5日音问，据张通社报谈，睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“睿励科学仪器”）告示完成近5亿元战术融资，本轮融资由金石投资和招商致远鸠合领投，河南钞票、金信老本、鼎青投资等跟投。所融资金主要用于进一步普及先进半导体制程用的光学量检测诱骗的国产替代才智，丰富居品种类，加大商场开拓力度才智。

睿励科学仪器缔造于2005年，总部位于上海张江。公司悉力于于开发、坐蓐和销售具有自主学问产权及中枢工夫的集成电路芯片制造工艺用的光学量检测诱骗。

2005年，曾任专家多数检测诱骗企业研发科学家、研发司理的吕彤欣博士，归国创办了国内一家专注于集成电路坐蓐前谈工艺量检测诱骗开发的企业——睿励科学仪器。公司中枢团队来自行业海外巨头，专科工夫团队成员大皆来自海外前两名的量检测诱骗企业以及国内著名光学工夫类公司，领有多项全自主研发的专利工夫。

睿励科学仪器总司理杨峰示意：“卓越感谢投资方的认同与相沿。咱们将不时深耕集成电路芯片坐蓐工艺检测诱骗商场，进一步丰富光学量测和光学劣势检测居品系列，为完竣集成电路前谈工艺检测诱骗国产化全面替代的瞎想而起劲。”他指出，异日，睿励科学仪器将抓续聚焦在光学量检测领域，完善膜厚量测、OCD量测、劣势检测，开发包括OVL的其他光学量检测诱骗。

中微半导体有关隆重东谈主示意：“跟着集成电路产业的快速发展，工艺检测诱骗的商场需求日益增长，国产化替代入口诱骗是势在必行，睿励科学仪器在这方面具有庞杂的发展空间和商场契机。跟着新一轮融资的完成，咱们期待睿励科学仪器未必进一步加快居品研发和商场拓展，牢固其在光学量检测领域的逾越地位。中微半导体将不时提供全主义的相沿，以促进睿励科学仪器的立异发展和抓续成长。咱们慑服，通过两边的详尽配合，能为鞭策国内半导体产业链的自主可控和高质料发展作念出更大的孝敬。”

本轮融资领投契构金石投资有关隆重东谈主示意：“量检测诱骗行为晶圆制造工艺的‘尺’，是工艺进程质料戒指和保证产线良率‘照拂东谈主’，其国产化的自主庞杂关于国内半导体产业链具有紧要的战术酷爱。睿励科学仪器团队深耕该领域近20年，领有较强的工夫上风、较高的业务专注度以及居品立异才智，是业内具有概述竞争实力的企业。咱们期待与睿励科学仪器一同成长，为我国集成电路产业自主可控孝敬力量。”